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2004 年度中国电子工程师薪酬调查分析
上海芯动:下一个芯片制造业的中心
继中芯国际立足上海之后,英特尔、台积电等知名芯片厂商在这一年也纷至沓来,在巨人的身影之后,是迅速生长和聚集起来的一群芯片业厂商。随着大量芯片厂和IC设计企业的入驻,在以张江科技园区为核心的浦东地区,正在形成包括研发设计、制造、光掩膜、封装、测试、设备、材料、气体、模具、引线框架、专业人才培训、技术服务等环节在内的近乎完整的产业链,并已经开始产生集群效应,同时,上海的芯片业也已经开始了由低端向高端的迁移和进化。人才、资金、技术,从世界各地向上海汇聚而来,让这座城市的芯片产业一时间蔚成气势。
2000年时张汝京的那个大胆的预测——芯片制造业的下一个中心将在上海——看上去正在一点点地变成现实。
上海已经是国内芯片制造业的第一城市。但在一片迅速成长的嘈杂声中,细心的观察者不难发现,上海芯片业的发展形态并没有最终定型,产业的“身形”也略显单薄,同时,政策指向的游移不定、封装测试等配套产业的远不完善、各类人才的暂时流失,也使得上海芯片工业于迅速发展中屡处险境。
不过,看上去好消息要远多于坏消息:生产最关键、最昂贵的光刻机部件的某制造商有望整体迁移至上海;芯片制造工艺已经开始了向高端的实质性迁移;众多IC设计公司在度过前两年艰难的研发期后也将陆续进入收获阶段。
2004年的上海,有着与二十年前的中国台湾一样的优势:大量的海归人才和海外资本纷纷归来并创建起自己的代工业和设计业,并很快就以成本和配套优势开始抢占市场。所不同的是,中国大陆的市场潜力更大,未来的人才也会更多。它有理由期待一个更远大的未来。上海最近一段时间以来可谓“芯”事不断:9月28日,台积电宣布在上海松江的8英寸厂正式批量生产。10月11日,中芯国际发布公告声称与德州仪器就90纳米处理技术签署制造服务合约,引得市场一片哗然。而最新爆出的一则猛料是,李嘉诚以和黄与长实的名义投资上海宏力9000万美元。素以投资超人著称的李嘉诚先前从未投资过芯片业,而此次何以看上上海的芯片业?上海的芯片竟有如此魅力,引得各路豪杰纷纷折腰?
代工崛起激发群聚效应
2000年当张汝京初到上海时很希望能证实他的一个想法,他认为芯片制造业的下一个中心将在上海,但他没料到的是,这个想法居然改变了一个城市的产业。虽然上海此前已经有华虹NEC和上海先进等芯片厂,但这不足以让上海的芯片业呈现繁荣,直到中芯国际的入驻使这一切发生了质变。张汝京来到浦东后以旋风般的速度建起了三个8英寸厂,将中国内地原来的0.25微米工艺迅速提升至0.13微米。使浦东芯片制造业的面貌焕然一新,也因此确立了上海国内芯片制造老大的地位。
业内人士分析,中芯国际的入驻最大的作用不在于自身,而是促动了整个浦东芯片业产业链条的发展。为服务中芯国际等厂商,众多芯片制造服务公司相继入驻张江科技园区,为整个制造业带来了相当大的便利。芯片设计公司也为降低成本选择进入张江等高科技园区,各方面的合力使得张江科技园区的芯片人才和信息得以汇集。
另一方面中芯国际的快速发展使得更多的芯片代工厂商感到紧张,加快了进入浦东的脚步。由于中国内地的芯片生产成本更低,如果不将芯片生产厂搬到中国内地,长远来看成本上将无法和中国内地的芯片代工厂相匹敌。市场也是他们考虑的一个重要因素,信息产业部集成电路处徐小田处长表示,“中芯国际的成长是与国内市场的蓬勃成长同步的。”中芯国际的订单虽然大多来自海外,但其中许多属于国内电子企业交给海外设计公司之后又转给中芯国际生产。中国正在成为消费电子产品全球最大的制造基地,芯片企业距离生产基地越近,周转时间就越短、物流便捷、沟通方便。正是这些原因,促使海外的芯片制造企业纷纷进驻上海。
据上海市信息委资深专家林晶介绍,目前,我国已投产的8英寸集成电路生产线共有8条,其中6条在上海。上海8英寸晶圆片月投片16万片左右,产能占到全国的四分之三。随着大量芯片厂的入驻,在以张江科技园区为核心的浦东地区,已经形成了包括研发设计、制造、光掩膜、封装、测试、设备、材料、气体、模具、引线框架、专业人才培训、技术服务等环节在内的完整产业链。
群聚对于芯片业的重要性不容置疑。友达光电(苏州)有限公司总经理彭双浪说:“半导体的设备贵。一台机器上亿元,如果机器停下来,成本是按分秒算的。这就要求配套的企业或者合作伙伴几分钟内能赶到。一定要有群聚的支持、很强的配套,机器一停,严格意义上说,从苏州到上海的距离都远了。”正是因为有了群聚效应,各厂家纷纷宣布将在上海扩产或新增生产线。中芯在上海已有扩建的计划,宏力半导体将在目前8英寸厂的基础上继续上马12英寸晶圆生产线。中国台湾另一巨头联电在苏州的8英寸厂已经开始投产,而且预计10年内将盖六座厂房,以防堵中芯追上,中国台湾产业界人士戏称为“万舰齐发”,而台积电继在上海松江建成8英寸厂之后,豪言其未来10年将在中国投资100亿美元,其中大部分都将选择在上海。除了中国台湾企业,国外企业也开始按捺不住,IBM、NEC、东芝、日立等芯片厂的投资计划都在筹划之中。在IC设计方面,大量的风险资本进入浦东地区,仅浦东地区的设计公司就已经达到100家左右规模,其中不乏像威盛、复旦微、芯华、展讯这样的好手,也涌现了一批优秀的设计服务公司如芯原、华杰、智芯等,在测试环节像Intel、日月光、阿法泰克等著名厂家也大量进驻浦东。
上海芯片产业的良性互动也带动了资金的涌入和技术的提升,如今上海的芯片设计技术从以往的0.25微米提升到0.18微米甚至0.13微米,制造工艺也已经提升到0.13微米的水平。“群聚效应已很明显。”北大微电子研究所专家孙卫认为。
芯片设计的生存空间
上海IC设计的成长速度并不亚于其制造业,统计显示,2003年上海IC业实现销售8.6亿元,同比增长近54%,占到全国的17%和全球的2.63%。但规模偏小和不具备核心技术是上海乃至全国的芯片设计公司的通病。IDC在一份报告中对中国IC设计公司作出了悲观的预测:未来5年,中国大陆460多家IC设计公司只有5%可以生存下来。当然,这其中也包含上海的芯片设计公司。
但从记者采访的几家公司来看,他们的进展速度非常快,其中芯华和展讯的设计工艺都可以达到0.18微米,并且已经分别设计出了2.5G和3G手机核心多媒体处理芯片和TD-SCDMA基带芯片,可以说已经代表了国产芯片的最高水平。这种水平即使在国际上也是一种不错的成就。“基芯片即使在日本也未能开发成功”,展信通信公司总裁特别助理赵劲松骄傲地说。
上海芯片设计业进展的动力首先来自于大量的海外风险投资进入这个行业,如芯华、展讯、鼎新、芯原等公司前期都获得了风险投资青睐,其中展讯更是获得了著名的Intel基金和3I公司的首期投资。那么他们又为何看好中国大陆的芯片设计公司呢?
在赵劲松的眼中,这一切都很正常。“在硅谷的IC设计公司里,最多的便是华人和印度人,华人在计算方面的天赋无可比拟,我做过统计,哪个项目使用华人的比例高,芯片的质量便要高,而且成本低,能按期完成,聪明的老板尤其是犹太人一般比较喜欢招华人”,赵劲松笑道。“而且华人在美国社会已经形成了不小的圈子,平时交流较多,大家最感兴趣的便是回国创业,都觉得国内的机会要比美国多。”据了解,回沪创业的设计公司带头人几乎都有海外背景,在集成电路行业,经验的积累十分重要,这些人一般都是海外某重要项目的带头人,均有长达10年至15年的行业背景,也正是因为他们的资历才能吸引到风险投资。
但这些企业目前阶段大都处于研发或者即将投产阶段,记者在采访中发现,一些小的芯片设计公司市场部的座位基本上是虚位以待,已经达到400~500人规模的展讯属于这些公司中的较大者,展讯的一些芯片已经进入市场。赵劲松承认,研发和市场开拓是两码事。对这些从事尖端芯片研究的公司来说,一旦产品面市,他们将要面对的企业一开始就是国际化的大公司,如何与国际巨头竞争是他们首要考虑的事情。
芯片和一般的商品不同,在面市之前一般要经过大量复杂的测试以证明其可靠性,但即使如此,在没有得到市场检验之前,很难证明其没有设计缺陷。前些日子HP笔记本内存召回的案例说明,即使是国际顶尖设计公司的产品,也不是丝毫没有风险。而因为芯片设计缺陷造成的系统设备风险,是目前任何一家系统公司都不得不考虑的问题。国内企业在采购芯片时的心态,多少都存在对国内IC设计公司能力一定程度的质疑。所以,对于新成立的IC设计公司来说,如何迈出第一步至关重要。
对于第一步,芯华和展讯的做法也许值得借鉴,它们同时选择了较为简易的芯片作为突破口,芯华开发出神芯二号数模转换芯片主要用于DVD影碟机,展讯开发出无线固话芯片以开拓市场。由于国内3G市场尚未启动,开发其他较低档的芯片可以为公司获得一定的现金流,而且对其未来开拓市场带来便利,赵劲松表示,“由于许多手机厂商也同时生产无线固话终端,这有利于我们的品牌知名度。”据悉,展讯为了让客户对其芯片增强信心,特意设计了一个手机平台测试系统,以对客户需要的参数进行测试,免去用户测试方面的麻烦。
相比国外大公司,国内企业也并非只有劣势,服务的便利也许是国内IC公司最大的优势所在,集成电路的复杂性对于消费企业来说太难以控制,所以售前和售后服务就显得尤为重要。麦肯锡的调查显示,除电信设备供应等少数行业,中国芯片消费企业需要芯片设计公司提供更多的支持,从完整的产品规格制定到帮助选择电路板芯片,本地的芯片设计企业在这个环节上具备一定的优势,但也从一个侧面反映芯片设计公司贴近市场的好处。这也是为何近年国外大的芯片设计公司纷纷在国内开设研发中心的重要原因。
对于国内的IC公司,消费电子的崛起也许是给他们的最好机遇,英特尔CEO贝瑞特指出,现在全球半导体业正处于“数字化的变革时代”,消费电子产品数字化、娱乐智能化和多样化将带来众多新兴的市场,而这一变革的时代将会使有创意的公司脱颖而出。例如3G手机对于芯片的需求量无疑十分巨大,而这一块市场处于启动初期,国内IC厂商将存在巨大的机会,手机的更新换代速度快,手机型号多样化和功能的多样化决定了没有一家公司可以垄断市场,如果国内IC设计公司能快速跟上将是个好机会。
设计作为芯片领域的核心产业,为了加快其发展,上海出台了一系列扶持政策。譬如,设立芯片设计和整机联动专项资金,每年投入3000万元支持8~10个项目。争取银行2亿元的授信额度,帮助设计企业解决融资问题。成立全国首家硅知识产权交易中心,并使国家将集成电路专利数据库设在该中心,该中心迄今已汇集了95%左右的中外集成电路专利方面的数据资料,以保护知识产权、加快芯片研发效率。
人才,活跃在上海
与全球之间芯片业的发展最关键的是什么?无疑是人,由于近年上海芯片业的快速发展,对于人才的需求量节节上升。据上海市发改委预测,2005年上海市需要至少1万名集成电路设计人才和1.5万名制造(含测试封装)高级人才。但就在此关键时刻,一则关于人才外流的消息在业界引起不小的震动。
国内某媒体报道了一位制造业工程师跳槽的消息,一名叫胡鹏(化名)的晶片工程师,在上海某芯片厂工作刚满两年,可就在今年的8月,被联电新加坡公司挖走了。胡鹏在受访时坦言,他离开的原因主要是薪资问题,因为同样的职位,在新加坡收入是上海的5倍。
胡鹏说,他在上海的月薪3000多元人民币,“加上加班费,每月最多也只是4000元左右”。但在新加坡,他每个月的收入不低于3000新元,按照目前的外汇比率,约是1.5万元人民币。另外公司还提供住宿、机票等福利。
一边是对人才的渴求,然而另一面,给员工的待遇并不高,这不得不让人感到困惑。不过芯华微电子公司总经理林涛认为,这种现象主要发生在代工领域,目前在设计界尚不存在这种大规模的人才外流现象。赵劲松也认为,目前设计业人才的流动主要是在国内,自己公司除了30来位海归人士以外,大多都是从国内外资设计公司挖过来的人,展讯的工资水平和外资公司差不多。
然而,在芯片设计领域,跳槽同样是家常便饭。在合资IC公司任职的杨新(化名)说,4年里,他身边的朋友都在跳,从国企跳到外企,再从外企跳回到国企,甚至直接跳出国,在跳来跳去中,实现自己的价值与技能的增值,“机会和未来的上升空间,以及能否学到新技能,对跳槽起着决定性作用。在职业转换中,可以持续参加培训,提高自己的思维能力和专业技能,拓宽职业发展的空间。说实话,在芯片设计公司最重要的是经验的积累,短时期的薪水并不重要,进入这个行业的初期拿不了多少钱,但干了多年后出了成果拿到几十万元的年薪并不是稀罕事。”业内人士表示,制造业工作人员之所以工资不高主要是因为其一线工人更多是从事体力劳动,技术含量不高,不如智力密集型的设计业。生产线上的员工在国内制造企业中一般都是由刚毕业的本科生来担任,为了节省成本,国内的芯片制造公司开出的薪水不高,为了留住人才更多的是依靠股票期权等软因素。另外,像中芯国际为员工建了宿舍,建了内部学校,学校一律聘请外教,这对于那些已经成家的员工来说非常有吸引力,这些学校还可以以优惠措施接纳IC设计公司员工子女就学,以保持相互之间的良好关系。目前部分人才外流主要和国际上大规模建厂有关,但海外产能不太可能长期扩张,预期这种外流不会长久。
一位华为的工程师曾在新加坡特许半导体工作过两年,他对记者说:“虽然那边待遇不错,但那里绝对不是一个生活的好地方,那地方太小,走不了几步就到海边了,感觉很闷,而且难得有几个朋友,我在那里过的简直是噩梦般的生活,这些人在那里肯定待不长的,估计他们不久还会回来的”。
明日上海芯
今日的上海芯片业产业链条虽然已经渐趋完整,但绝非完美,和硅谷与中国台湾新竹等地的成熟的芯片基地相比,上海的芯片业只能算是未长成人的孩子。他既得面对来自芯片产能过剩的严峻现实,也得面对自身成长的烦恼。
在芯片制造业上,扩大产能的并非只有上海一地,2004年全球有17个新建或改建厂,其中大部分是更为先进的12英寸线。如果这些生产线都能开动起来,产能将达到月产70万片(12英寸计),相当于全球芯片产能的20%左右。正是因为巨大的产能即将释放,分析师们对芯片的价格是否还能维持在高位表示怀疑。这对于许多新进入的芯片厂商来说当然不是个好消息。有人戏言,所谓半导体,就是做到一半就会“倒”的行业。主要原因在于,这是一个“资本密集”的行业,大量投资之后,又很容易生产过剩。
台积电总裁张仲谋对芯片代工未来的前景表示了担忧:“未来出现泡沫的地方很可能在中国大陆”。张汝京则认为:“芯片价格估计会有所下滑,但波动将趋于平缓,因为虽然有大量新的产能出现,不过这两年退出的产能也不少,应该不会再有像2001年那样的大幅行业低迷出现了。”但如果芯片价格真的大幅下跌,国内芯片厂将不得不在价格上和台积电等厂商比拼,这是国内厂商最不愿意看到的结果,因为在代工领域,台积电的优势难以比拟,即使是在最不景气的2003年第一季度,台积电产能利用率仅50%,却还可以做到不亏钱。而大陆厂商则不得不面对巨额的折旧。这对于那些即将上马生产线但又缺乏海外背景的国产厂商来说,将是一个严峻的挑战。
另外,虽然上海、江苏等地封测厂商较多,但封测环节依然为制造厂所诟病,大多数的厂家都只能做中低端的封测。张汝京就有过这方面的体会:“有时客户要货比较急,我们得四处找人测试,中国台湾厂家在封测这一块做得很好,但由于中国台湾当局的限制,他们高水平的工艺无法进入中国内地,我们很着急。”后来,中芯国际只好在成都自建一个测试厂。
专业从事测试的上海华岭集成电路公司总经理张志勇表示:“虽然中国内地已经有几十家封测厂,但他们收入来源的90%是封装而不是测试,而且即使是封装,也大都集中在0.25微米以上工艺的封装层面,尤其是测试这一块由于对技术和算法的要求比较高,能做到的封测厂并不多,由于中芯国际的工艺已经上升到0.11微米的水平,所以现在封测环节对他们来说是个瓶颈”。
如果封测这一块不过关,无论对于制造还是设计公司来说都将造成很大的影响,张志勇表示:“制板和投片的成本还可以控制,但测试的成本往往是未知的,如果难度过大往往会造成分析费呈几何级数的翻番,而且还可能拖延时间。由于测试之后将直接出产品,如果测试不过关,将影响到产品的质量,前些日子国产手机之所以返修率高在一定程度上就是因为仓促进入市场,在测试上没有严格要求的缘故”。
其次在税收方面,2000年颁布的国务院18号文件中的优惠政策将在明年4月取消,这将对上海的芯片业造成很大的影响。18号文件中第41条规定,给予设厂在国内的半导体厂商实行增值税优惠待遇,在2010年以前,对“实际税赋”超过6%的部分“即征即退”,由企业用于研究开发新的集成电路和扩大再生产。2001年9月29日,国务院再发文件,将即征即退标准由6%进一步下调至3%。但到明年4月,这一税率将再次恢复到17%。
众多的风险投资进入国内其中一个重要原因正是看中18号文件的精神。但实际上,上海的芯片业并未受到18号文件多大的好处,由于众多的芯片制造厂和设计公司的主要产品都是销往国内,因而受到的影响将较大,甚至新近成立的从事高端的芯片设计的公司大多处于研发状态,基本没什么销售,大都处于亏损,基本上没享受到税收的优惠,如今即将投入市场,但增值税又要恢复了,这让他们大感失望。赵劲松苦涩地笑道:“早知如此,我们就以软件公司的名义注册了。”这种政策的变动或许会影响风险投资进入上海的脚步。但据记者了解,虽然中国在增值税的优惠上做了一定程度的退步,但高层和上海当局正在考虑通过其它措施对集成电路产业进行扶植。
不过,对于上海的芯片业来说,利空的因素总体来说只是局部,而且正在解决和消化之中。当记者在上海采访的时候,听到一个重大的消息,某著名的设备制造商已经进入上海,将生产集成电路制造设备环节最关键也是最昂贵的一个部件:光刻机。这无疑是一个重大的突破,如果设备制造商也整体迁移至上海,将使上海的整体配套能力更加完善,在成本上也会更具优势。随着国际厂商进入上海的速度加快,制造工艺正在向高端迁移,众多IC设计公司在度过前两年艰难的研发期后也将陆续进入收获阶段。此时的上海有着二十年前的中国台湾一样的优势:大量的海归和海外资本进入并创建自己的代工和设计业,以成本和配套优势抢占市场,所不同的是中国大陆的市场潜力更大,未来的人才也会更多。也许不久之后,一个真正的“硅谷”将在上海成型。(互联网周刊 陈钢)
半导体工厂就是一个化工厂————毒 ?
我是做安全的,我想没有楼主所说的那么恐怖,且部分物质没有在用。
在半导体厂设备单位一般包括Diff、Thin-film、CMP、Etch、Photo,各单位的主要性质介绍如下:
(一)Diff 扩散设备单位(包括Kaijo、TEL、DNS、Applied 等)
主要用到有毒、无毒的Process Gas、water、高电压、高电流、废气,Clean机台则使用强酸碱化学品、而有废酸液的生成。
(二)Thin-film 薄膜设备单位(包括Applied、Novellus 等)
主要用到有毒、无毒的Process Gas、water、高电压、高电流、高频、废气。
(三)CMP 研磨设备单位(包括Applied、EBARA等)
主要用到强碱slurry 化学液、water、而有废碱液的生成。
(四)Etch 蚀刻设备单位(包括Lam、TEL、Applied、Kaijo、Mattson、Axcelis 机台)
蚀刻机台的制程主要用到有毒特殊气体(Cl2,HBr,氟化物等)、无毒的气体(N2,Ar….)、water(冷却循环水,去离子水….)、高电压、高频、高电流在真空中反应,且在生产过程会有废气、辐射、废水的生成物。
(五)Photo 黄光设备单位(包括Nikon stepper\Scanner、TEL track及其它相关量
测或检视机台)
主要用到紫外线光源HMDS、thinner、光阻等有机溶剂,且有高电流、高电压、紫外线的应用,生产过程会有废气、废液的生成。
综合一般无尘室内常见的工业安全伤害,可分为化学性、物理性的伤害,而伤害也分布身体的各部位。以下就将各单位较易发生及机台维修的安全事项说明如下:
(一)Diff 扩散设备单位
1、Furnace tools and CVD tools
(1)机械方面:robot 的夹伤、撞伤、chamber 毒气外泄、plasma 辐射伤害、gate
door 的夹伤,高温烫伤。
(2)电力方面:高压电流接触。
(3)维修方面:身体的撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、wafer 的割伤。
(4)保养方面:高温炉管的烫伤、parts 的割伤、化学溶剂吸入性及喷溅的伤害。
2、Wet bench 安全注意事项
(1)机械方面:robot 的夹伤、撞伤、挫伤。
(2)化学药剂方面:强酸/强碱的灼烫伤、化学品的接触、吸入性伤害。
(3)电力方面:漏电接触。
(4)维修方面:撞伤、wafer 割伤、强酸/强碱的接触。
3、AMHS系统
(1)机械方面:夹伤、撞伤、挫伤。
(2)维修方面:高架作业的安全。
(二)Thin-film 薄膜设备单位
(1)机械方面:避免撞伤、高温烫伤、robot 夹伤、slit valve 夹伤、肌肉拉伤。
(2)电力方面:避免高压电流接触身体。
(3)维修保养方面:高温烫伤、粉尘吸入、重物压伤、强酸/强碱的灼伤、身体的擦伤、撞伤、夹伤、挫伤、parts 割伤、powder 避免吸入体内。
(4)化学溶剂方面:强酸/强碱的接触和吸入。
(5)特殊气体方面:防止毒气外泄的吸入。
(三)CMP 研磨设备单位
(1)机械方面:motor gear 转动时夹伤、gate door 夹伤。
(2)电力方面:高压电流接触。
(3)维修方面:
a. Mirra Mesa Cross 转动时须先确定无人。
b. robot 移动时,须把door 关起来,避免撞人员。
c. Wafer 破片的割伤。
(4)保养方面:换Pad 时须使用适当工具,避免拔Pad 时工具撞到脸部。
(5)化学药剂方面:
a. 维修或保养chamber 时要先flush,并带口罩及防酸手套,防止HF 腐蚀。
b.处理W slurry 时,须带手套。
(四)Etch 干蚀刻设备单位
(1)机械方面:机械手臂的夹伤、撞伤、chamber 毒气外泄吸入性的伤害、plasma辐射污染伤害、gate door 的夹伤,高温烫伤。
(2)电力方面:高电压、高电流的电击伤害。
(3)维修方面:身体的撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、wafer 的割伤。
(4)保养方面:parts 的割伤、化学溶剂吸入性的伤害。
(五)Photo 黄光设备单位
(1)机械方面:robot、mail arm的撞伤,Kr/Ne/F2、化学品外泄,高温烫伤。
(2)电力方面:高压电流电击。
(3)维修方面:身体的撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、lamp、wafer 的割伤、高速旋转物飞出、液体溅出。
(4)保养方面:紫外线、laser 曝露、有机溶剂吸入、皮肤接触。
CVD用的硅烷是俗称的氮硅烷最高浓度20%,当浓度小于5%时一般在排放是仍会发生轻微爆燃,实验数据为1%.反应生成物主要是二氧化硅及含氢化合物.硅烷一般禁止与其他气体混合.其本身不会严重致害.
大家应该对氟有一定的了解,其化学键一般很稳定.如果是盐类气体--重金属氟化物则因金属的特性及环境会发生反应,一般无虑.但其他类不可在有水或含水环境中,会产生氟化氢.氟化氢一般是以气态存在的但易溶于生成氢氟酸有强烈腐蚀性.因此氟化氢微量吸入会刺激黏膜,少量吸入会发生严重灼伤.不过一般的盐类肯定无妨,大家还记得有含氟牙膏吧?
四氟化碳就是氟里昂,一般做冷媒或溶剂气对大气环境有害,至于别的什么----?
但半导体制造中下类气体有严重致害可能:
磷烷
金属有机化合物
(ETCH)里面六氟化硫,四氟化碳都属低毒,其中六氟化硫基本无毒。ETCH里比较厉害的毒气是氯气BCL3。
可以渗透皮肤,腐蚀骨髓,的是HF,不过可以用六氟灵及时处理,并不会有什么后遗症,不过价格不匪。
IC工艺里面所有的毒气都应该做过严格的保压,在几天几夜里绝对不允许泄露0.1个PSI,而且所有的毒气柜都有严格的排风保证,可以说是很安全的。
我认为比较安全的:DIFFUSION,MASK,相对危险的:IMPLANT,ETCH
ETCH工艺里的射频伤害相对是个比较严重而且很难避免的问题。
黄光区的毒害是里面的空气。因为PM和换光阻会挥发出来,然后有可能转化为苯类物质,这可能对造血功能和生殖系统有害。
机器吸不住wafer就一定是设备的原因吗?
微电子辞典
微电子辞典
Abrupt junction 突变结 Accelerated testing 加速实验
Acceptor 受主 Acceptor atom 受主原子
Accumulation 积累、堆积 Accumulating contact 积累接触
Accumulation region 积累区 Accumulation layer 积累层
Active region 有源区 Active component 有源元
Active device 有源器件 Activation 激活
Activation energy 激活能 Active region 有源(放大)区
Admittance 导纳 Allowed band 允带
Alloy-junction device合金结器件 Aluminum(Aluminium) 铝
Aluminum – oxide 铝氧化物 Aluminum passivation 铝钝化
Ambipolar 双极的 Ambient temperature 环境温度
Amorphous 无定形的,非晶体的 Amplifier 功放 扩音器 放大器
Analogue(Analog) comparator 模拟比较器 Angstrom 埃
Anneal 退火 Anisotropic 各向异性的
Anode 阳极 Arsenic (AS) 砷
Auger 俄歇 Auger process 俄歇过程
Avalanche 雪崩 Avalanche breakdown 雪崩击穿
Avalanche excitation雪崩激发
Background carrier 本底载流子 Background doping 本底掺杂
Backward 反向 Backward bias 反向偏置
Ballasting resistor 整流电阻 Ball bond 球形键合
Band 能带 Band gap 能带间隙
Barrier 势垒 Barrier layer 势垒层
Barrier width 势垒宽度 Base 基极
Base contact 基区接触 Base stretching 基区扩展效应
Base transit time 基区渡越时间 Base transport efficiency基区输运系数
Base-width modulation基区宽度调制 Basis vector 基矢
Bias 偏置 Bilateral switch 双向开关
Binary code 二进制代码Binary compound semiconductor 二元化合物半导体
Bipolar 双极性的 Bipolar Junction Transistor (BJT)双极晶体管
Bloch 布洛赫 Blocking band 阻挡能带
Blocking contact 阻挡接触 Body - centered 体心立方
Body-centred cubic structure 体立心结构 Boltzmann 波尔兹曼
Bond 键、键合 Bonding electron 价电子
Bonding pad 键合点 Bootstrap circuit 自举电路
Bootstrapped emitter follower 自举射极跟随器Boron 硼
Borosilicate glass 硼硅玻璃 Boundary condition 边界条件
Bound electron 束缚电子 Breadboard 模拟板、实验板
Break down 击穿 Break over 转折
Brillouin 布里渊 Brillouin zone 布里渊区
Built-in 内建的 Build-in electric field 内建电场
Bulk 体/体内 Bulk absorption 体吸收
Bulk generation 体产生 Bulk recombination 体复合
Burn - in 老化 Burn out 烧毁
Buried channel 埋沟 Buried diffusion region 隐埋扩散区
Can 外壳 Capacitance 电容
Capture cross section 俘获截面 Capture carrier 俘获载流子
Carrier 载流子、载波 Carry bit 进位位
Carry-in bit 进位输入 Carry-out bit 进位输出
Cascade 级联 Case 管壳
Cathode 阴极 Center 中心
Ceramic 陶瓷(的) Channel 沟道
Channel breakdown 沟道击穿 Channel current 沟道电流
Channel doping 沟道掺杂 Channel shortening 沟道缩短
Channel width 沟道宽度 Characteristic impedance 特征阻抗
Charge 电荷、充电 Charge-compensation effects 电荷补偿效应
Charge conservation 电荷守恒 Charge neutrality condition 电中性条件
Charge drive/exchange/sharing/transfer/storage 电荷驱动/交换/共享/转移/存储
Chemmical etching 化学腐蚀法 Chemically-Polish 化学抛光
Chemmically-Mechanically Polish (CMP) 化学机械抛光 Chip 芯片
Chip yield 芯片成品率 Clamped 箝位
Clamping diode 箝位二极管 Cleavage plane 解理面
Clock rate 时钟频率 Clock generator 时钟发生器
Clock flip-flop 时钟触发器 Close-packed structure 密堆积结构
Close-loop gain 闭环增益 Collector 集电极
Collision 碰撞 Compensated OP-AMP 补偿运放
Common-base/collector/emitter connection 共基极/集电极/发射极连接
Common-gate/drain/source connection 共栅/漏/源连接
Common-mode gain 共模增益 Common-mode input 共模输入
Common-mode rejection ratio (CMRR) 共模抑制比
Compatibility 兼容性 Compensation 补偿
Compensated impurities 补偿杂质 Compensated semiconductor 补偿半导体
Complementary Darlington circuit 互补达林顿电路
Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor(CMOS)
互补金属氧化物半导体场效应晶体管
Complementary error function 余误差函数
Computer-aided design (CAD)/test(CAT)/manufacture(CAM) 计算机辅助设计/ 测试 /制
造
Compound Semiconductor 化合物半导体 Conductance 电导
Conduction band (edge) 导带(底) Conduction level/state 导带态
Conductor 导体 Conductivity 电导率
Configuration 组态 Conlomb 库仑
Conpled Configuration Devices 结构组态 Constants 物理常数
Constant energy surface 等能面 Constant-source diffusion恒定源扩散
Contact 接触 Contamination 治污
Continuity equation 连续性方程 Contact hole 接触孔
Contact potential 接触电势 Continuity condition 连续性条件
Contra doping 反掺杂 Controlled 受控的
Cnverter 转换器 Conveyer 传输器
Copper interconnection system 铜互连系统Couping 耦合
Covalent 共阶的 Crossover 跨交
Critical 临界的 Crossunder 穿交
Crucible坩埚 Crystal defect/face/orientation/lattice 晶体缺陷/晶面/晶向/晶
格
Current density 电流密度 Curvature 曲率
Cut off 截止 Current drift/dirve/sharing 电流漂移/驱动/共享
Current Sense 电流取样 Curvature 弯曲
Custom integrated circuit 定制集成电路 Cylindrical 柱面的
Czochralshicrystal 直立单晶
Czochralski technique 切克劳斯基技术(Cz法直拉晶体J)
Dangling bonds 悬挂键 Dark current 暗电流
Dead time 空载时间 Debye length 德拜长度
De.broglie 德布洛意 Decderate 减速
Decibel (dB) 分贝 Decode 译码
Deep acceptor level 深受主能级 Deep donor level 深施主能级
Deep impurity level 深度杂质能级 Deep trap 深陷阱
Defeat 缺陷
Degenerate semiconductor 简并半导体 Degeneracy 简并度
Degradation 退化 Degree Celsius(centigrade) /Kelvin 摄氏/开氏温度
Delay 延迟 Density 密度
Density of states 态密度 Depletion 耗尽
Depletion approximation 耗尽近似 Depletion contact 耗尽接触
Depletion depth 耗尽深度 Depletion effect 耗尽效应
Depletion layer 耗尽层 Depletion MOS 耗尽MOS
Depletion region 耗尽区 Deposited film 淀积薄膜
Deposition process 淀积工艺 Design rules 设计规则
Die 芯片(复数dice) Diode 二极管
Dielectric 介电的 Dielectric isolation 介质隔离
Difference-mode input 差模输入 Differential amplifier 差分放大器
Differential capacitance 微分电容 Diffused junction 扩散结
Diffusion 扩散 Diffusion coefficient 扩散系数
Diffusion constant 扩散常数 Diffusivity 扩散率
Diffusion capacitance/barrier/current/furnace 扩散电容/势垒/电流/炉
Digital circuit 数字电路 Dipole domain 偶极畴
Dipole layer 偶极层 Direct-coupling 直接耦合
Direct-gap semiconductor 直接带隙半导体 Direct transition 直接跃迁
Discharge 放电 Discrete component 分立元件
Dissipation 耗散 Distribution 分布
Distributed capacitance 分布电容 Distributed model 分布模型
Displacement 位移 Dislocation 位错
Domain 畴 Donor 施主
Donor exhaustion 施主耗尽 Dopant 掺杂剂
Doped semiconductor 掺杂半导体 Doping concentration 掺杂浓度
Double-diffusive MOS(DMOS)双扩散MOS.
Drift 漂移 Drift field 漂移电场
Drift mobility 迁移率 Dry etching 干法腐蚀
Dry/wet oxidation 干/湿法氧化 Dose 剂量
Duty cycle 工作周期 Dual-in-line package (DIP) 双列直插式封装
Dynamics 动态 Dynamic characteristics 动态属性
Dynamic impedance 动态阻抗
Early effect 厄利效应 Early failure 早期失效
Effective mass 有效质量 Einstein relation(ship) 爱因斯坦关系
Electric Erase Programmable Read Only Memory(E2PROM) 一次性电可擦除只读存储器
Electrode 电极 Electrominggratim 电迁移
Electron affinity 电子亲和势 Electronic -grade 电子能
Electron-beam photo-resist exposure 光致抗蚀剂的电子束曝光
Electron gas 电子气 Electron-grade water 电子级纯水
Electron trapping center 电子俘获中心 Electron Volt (eV) 电子伏
Electrostatic 静电的 Element 元素/元件/配件
Elemental semiconductor 元素半导体 Ellipse 椭圆
Ellipsoid 椭球 Emitter 发射极
Emitter-coupled logic 发射极耦合逻辑Emitter-coupled pair 发射极耦合对
Emitter follower 射随器 Empty band 空带
Emitter crowding effect 发射极集边(拥挤)效应
Endurance test =life test 寿命测试 Energy state 能态
Energy momentum diagram 能量-动量(E-K)图 Enhancement mode 增强型模式
Enhancement MOS 增强性MOS Entefic (低)共溶的
Environmental test 环境测试 Epitaxial 外延的
Epitaxial layer 外延层 Epitaxial slice 外延片
Expitaxy 外延 Equivalent curcuit 等效电路
Equilibrium majority /minority carriers 平衡多数/少数载流子
Erasable Programmable ROM (EPROM)可搽取(编程)存储器
Error function complement 余误差函数
Etch 刻蚀 Etchant 刻蚀剂
Etching mask 抗蚀剂掩模 Excess carrier 过剩载流子
Excitation energy 激发能 Excited state 激发态
Exciton 激子 Extrapolation 外推法
Extrinsic 非本征的 Extrinsic semiconductor 杂质半导体
Face - centered 面心立方 Fall time 下降时间
Fan-in 扇入 Fan-out 扇出
Fast recovery 快恢复 Fast surface states 快界面态
Feedback 反馈 Fermi level 费米能级
Fermi-Dirac Distribution 费米-狄拉克分布 Femi potential 费米势
Fick equation 菲克方程(扩散) Field effect transistor 场效应晶体管
Field oxide 场氧化层 Filled band 满带
Film 薄膜 Flash memory 闪烁存储器
Flat band 平带 Flat pack 扁平封装
Flicker noise 闪烁(变)噪声 Flip-flop toggle 触发器翻转
Floating gate 浮栅 Fluoride etch 氟化氢刻蚀
Forbidden band 禁带 Forward bias 正向偏置
Forward blocking /conducting正向阻断/导通
Frequency deviation noise频率漂移噪声
Frequency response 频率响应 Function 函数
Gain 增益 Gallium-Arsenide(GaAs) 砷化钾
Gamy ray r 射线 Gate 门、栅、控制极
Gate oxide 栅氧化层 Gauss(ian) 高斯
Gaussian distribution profile 高斯掺杂分布Generation-recombination 产生-复合
Geometries 几何尺寸 Germanium(Ge) 锗
Graded 缓变的 Graded (gradual) channel 缓变沟道
Graded junction 缓变结 Grain 晶粒
Gradient 梯度 Grown junction 生长结
Guard ring 保护环 Gummel-Poom model 葛谋-潘 模型
Gunn - effect 狄氏效应
Hardened device 辐射加固器件 Heat of formation 形成热
Heat sink 散热器、热沉 Heavy/light hole band 重/轻 空穴带
Heavy saturation 重掺杂 Hell - effect 霍尔效应
Heterojunction 异质结 Heterojunction structure 异质结结构
Heterojunction Bipolar Transistor(HBT)异质结双极型晶体
High field property 高场特性
High-performance MOS.( H-MOS)高性能MOS. Hormalized 归一化
Horizontal epitaxial reactor 卧式外延反应器 Hot carrior 热载流子
Hybrid integration 混合集成
Image - force 镜象力 Impact ionization 碰撞电离
Impedance 阻抗 Imperfect structure 不完整结构
Implantation dose 注入剂量 Implanted ion 注入离子
Impurity 杂质 Impurity scattering 杂志散射
Incremental resistance 电阻增量(微分电阻)In-contact mask 接触式掩模
Indium tin oxide (ITO) 铟锡氧化物 Induced channel 感应沟道
Infrared 红外的 Injection 注入
Input offset voltage 输入失调电压 Insulator 绝缘体
Insulated Gate FET(IGFET)绝缘栅FET Integrated injection logic集成注入逻辑
Integration 集成、积分 Interconnection 互连
Interconnection time delay 互连延时 Interdigitated structure 交互式结构
Interface 界面 Interference 干涉
International system of unions国际单位制 Internally scattering 谷间散射
Interpolation 内插法 Intrinsic 本征的
Intrinsic semiconductor 本征半导体 Inverse operation 反向工作
Inversion 反型 Inverter 倒相器
Ion 离子 Ion beam 离子束
Ion etching 离子刻蚀 Ion implantation 离子注入
Ionization 电离 Ionization energy 电离能
Irradiation 辐照 Isolation land 隔离岛
Isotropic 各向同性
Junction FET(JFET) 结型场效应管 Junction isolation 结隔离
Junction spacing 结间距 Junction side-wall 结侧壁
Latch up 闭锁 Lateral 横向的
Lattice 晶格 Layout 版图
Lattice binding/cell/constant/defect/distortion 晶格结合力/晶胞/晶格/晶格常熟
/晶格缺陷/晶格畸变
Leakage current (泄)漏电流 Level shifting 电平移动
Life time 寿命 linearity 线性度
Linked bond 共价键 Liquid Nitrogen 液氮
Liquid-phase epitaxial growth technique 液相外延生长技术
Lithography 光刻 Light Emitting Diode(LED) 发光二极管
Load line or Variable 负载线 Locating and Wiring 布局布线
Longitudinal 纵向的 Logic swing 逻辑摆幅
Lorentz 洛沦兹 Lumped model 集总模型
Majority carrier 多数载流子 Mask 掩膜板,光刻板
Mask level 掩模序号 Mask set 掩模组
Mass - action law质量守恒定律 Master-slave D flip-flop主从D触发器
Matching 匹配 Maxwell 麦克斯韦
Mean free path 平均自由程 Meandered emitter junction梳状发射极结
Mean time before failure (MTBF) 平均工作间
Megeto - resistance 磁阻 Mesa 台面
MESFET-Metal Semiconductor金属半导体FET
Metallization 金属化 Microelectronic technique 微电子技术
Microelectronics 微电子学 Millen indices 密勒指数
Minority carrier 少数载流子 Misfit 失配
Mismatching 失配 Mobile ions 可动离子
Mobility 迁移率 Module 模块
Modulate 调制 Molecular crystal分子晶体
Monolithic IC 单片IC MOSFET金属氧化物半导体场效应晶体管
Mos. Transistor(MOST )MOS. 晶体管 Multiplication 倍增
Modulator 调制 Multi-chip IC 多芯片IC
Multi-chip module(MCM) 多芯片模块 Multiplication coefficient倍增因子
Naked chip 未封装的芯片(裸片) Negative feedback 负反馈
Negative resistance 负阻 Nesting 套刻
Negative-temperature-coefficient 负温度系数 Noise margin 噪声容限
Nonequilibrium 非平衡 Nonrolatile 非挥发(易失)性
Normally off/on 常闭/开 Numerical analysis 数值分析
Occupied band 满带 Officienay 功率
Offset 偏移、失调 On standby 待命状态
Ohmic contact 欧姆接触 Open circuit 开路
Operating point 工作点 Operating bias 工作偏置
Operational amplifier (OPAMP)运算放大器
Optical photon =photon 光子 Optical quenching光猝灭
Optical transition 光跃迁 Optical-coupled isolator光耦合隔离器
Organic semiconductor有机半导体 Orientation 晶向、定向
Outline 外形 Out-of-contact mask非接触式掩模
Output characteristic 输出特性 Output voltage swing 输出电压摆幅
Overcompensation 过补偿 Over-current protection 过流保护
Over shoot 过冲 Over-voltage protection 过压保护
Overlap 交迭 Overload 过载
Oscillator 振荡器 Oxide 氧化物
Oxidation 氧化 Oxide passivation 氧化层钝化
Package 封装 Pad 压焊点
Parameter 参数 Parasitic effect 寄生效应
Parasitic oscillation 寄生振荡 Passination 钝化
Passive component 无源元件 Passive device 无源器件
Passive surface 钝化界面 Parasitic transistor 寄生晶体管
Peak-point voltage 峰点电压 Peak voltage 峰值电压
Permanent-storage circuit 永久存储电路 Period 周期
Periodic table 周期表 Permeable - base 可渗透基区
Phase-lock loop 锁相环 Phase drift 相移
Phonon spectra 声子谱
Photo conduction 光电导 Photo diode 光电二极管
Photoelectric cell 光电池
Photoelectric effect 光电效应
Photoenic devices 光子器件 Photolithographic process 光刻工艺
(photo) resist (光敏)抗腐蚀剂 Pin 管脚
Pinch off 夹断 Pinning of Fermi level 费米能级的钉扎(效应)
Planar process 平面工艺 Planar transistor 平面晶体管
Plasma 等离子体 Plezoelectric effect 压电效应
Poisson equation 泊松方程 Point contact 点接触
Polarity 极性 Polycrystal 多晶
Polymer semiconductor聚合物半导体 Poly-silicon 多晶硅
Potential (电)势 Potential barrier 势垒
Potential well 势阱 Power dissipation 功耗
Power transistor 功率晶体管 Preamplifier 前置放大器
Primary flat 主平面 Principal axes 主轴
Print-circuit board(PCB) 印制电路板 Probability 几率
Probe 探针 Process 工艺
Propagation delay 传输延时 Pseudopotential method 膺势发
Punch through 穿通 Pulse triggering/modulating 脉冲触发/调制Pulse
Widen Modulator(PWM) 脉冲宽度调制
Punchthrough 穿通 Push-pull stage 推挽级
Quality factor 品质因子 Quantization 量子化
Quantum 量子 Quantum efficiency量子效应
Quantum mechanics 量子力学 Quasi – Fermi-level准费米能级
Quartz 石英
Radiation conductivity 辐射电导率 Radiation damage 辐射损伤
Radiation flux density 辐射通量密度 Radiation hardening 辐射加固
Radiation protection 辐射保护 Radiative - recombination辐照复合
Radioactive 放射性 Reach through 穿通
Reactive sputtering source 反应溅射源 Read diode 里德二极管
Recombination 复合 Recovery diode 恢复二极管
Reciprocal lattice 倒核子 Recovery time 恢复时间
Rectifier 整流器(管) Rectifying contact 整流接触
Reference 基准点 基准 参考点 Refractive index 折射率
Register 寄存器 Registration 对准
Regulate 控制 调整 Relaxation lifetime 驰豫时间
Reliability 可靠性 Resonance 谐振
Resistance 电阻 Resistor 电阻器
Resistivity 电阻率 Regulator 稳压管(器)
Relaxation 驰豫 Resonant frequency共射频率
Response time 响应时间 Reverse 反向的
Reverse bias 反向偏置
Sampling circuit 取样电路 Sapphire 蓝宝石(Al2O3)
Satellite valley 卫星谷 Saturated current range电流饱和区
Saturation region 饱和区 Saturation 饱和的
Scaled down 按比例缩小 Scattering 散射
Schockley diode 肖克莱二极管 Schottky 肖特基
Schottky barrier 肖特基势垒 Schottky contact 肖特基接触
Schrodingen 薛定厄 Scribing grid 划片格
Secondary flat 次平面
Seed crystal 籽晶 Segregation 分凝
Selectivity 选择性 Self aligned 自对准的
Self diffusion 自扩散 Semiconductor 半导体
Semiconductor-controlled rectifier 可控硅 Sendsitivity 灵敏度
Serial 串行/串联 Series inductance 串联电感
Settle time 建立时间 Sheet resistance 薄层电阻
Shield 屏蔽 Short circuit 短路
Shot noise 散粒噪声 Shunt 分流
Sidewall capacitance 边墙电容 Signal 信号
Silica glass 石英玻璃 Silicon 硅
Silicon carbide 碳化硅 Silicon dioxide (SiO2) 二氧化硅
Silicon Nitride(Si3N4) 氮化硅 Silicon On Insulator 绝缘硅
Siliver whiskers 银须 Simple cubic 简立方
Single crystal 单晶 Sink 沉
Skin effect 趋肤效应 Snap time 急变时间
Sneak path 潜行通路 Sulethreshold 亚阈的
Solar battery/cell 太阳能电池 Solid circuit 固体电路
Solid Solubility 固溶度 Sonband 子带
Source 源极 Source follower 源随器
Space charge 空间电荷 Specific heat(PT) 热
Speed-power product 速度功耗乘积 Spherical 球面的
Spin 自旋 Split 分裂
Spontaneous emission 自发发射 Spreading resistance扩展电阻
Sputter 溅射 Stacking fault 层错
Static characteristic 静态特性 Stimulated emission 受激发射
Stimulated recombination 受激复合 Storage time 存储时间
Stress 应力 Straggle 偏差
Sublimation 升华 Substrate 衬底
Substitutional 替位式的 Superlattice 超晶格
Supply 电源 Surface 表面
Surge capacity 浪涌能力 Subscript 下标
Switching time 开关时间 Switch 开关
Tailing 扩展 Terminal 终端
Tensor 张量 Tensorial 张量的
Thermal activation 热激发 Thermal conductivity 热导率
Thermal equilibrium 热平衡 Thermal Oxidation 热氧化
Thermal resistance 热阻 Thermal sink 热沉
Thermal velocity 热运动 Thermoelectricpovoer 温差电动势率
Thick-film technique 厚膜技术 Thin-film hybrid IC薄膜混合集成电路
Thin-Film Transistor(TFT) 薄膜晶体 Threshlod 阈值
Thyistor 晶闸管 Transconductance 跨导
Transfer characteristic 转移特性 Transfer electron 转移电子
Transfer function 传输函数 Transient 瞬态的
Transistor aging(stress) 晶体管老化 Transit time 渡越时间
Transition 跃迁 Transition-metal silica 过度金属硅化物
Transition probability 跃迁几率 Transition region 过渡区
Transport 输运 Transverse 横向的
Trap 陷阱 Trapping 俘获
Trapped charge 陷阱电荷 Triangle generator 三角波发生器
Triboelectricity 摩擦电 Trigger 触发
Trim 调配 调整 Triple diffusion 三重扩散
Truth table 真值表 Tolerahce 容差
Tunnel(ing) 隧道(穿) Tunnel current 隧道电流
Turn over 转折 Turn - off time 关断时间
Ultraviolet 紫外的 Unijunction 单结的
Unipolar 单极的 Unit cell 原(元)胞
Unity-gain frequency 单位增益频率 Unilateral-switch单向开关
Vacancy 空位 Vacuum 真空
Valence(value) band 价带 Value band edge 价带顶
Valence bond 价键 Vapour phase 汽相
Varactor 变容管 Varistor 变阻器
Vibration 振动 Voltage 电压
Wafer 晶片 Wave equation 波动方程
Wave guide 波导 Wave number 波数
Wave-particle duality 波粒二相性 Wear-out 烧毁
Wire routing 布线 Work function 功函数
Worst-case device 最坏情况器件
Yield 成品率
Zener breakdown 齐纳击穿
Zone melting 区熔法
中国半导体设备与材料产业:前途无限
中国半导体设备
与材料产业:前途无限
中国大陆半导体设备与材料产业正在落地生根,最终可能走向世界,对竞争对手构成威胁。虽然没有人认为这种情形会在一夜之间出现,但许多人认为它一定会出现。建立半导体设备与材料产业,是中国自力更生的宏观战略的一部分,这将使中国企业从该国迅速增长的半导体和电子市场中获取更大的利益。
中国已经拥有一些本地晶圆供应商,主要用于满足国内的4、5和6英寸芯片厂需求。由于现代半导体工厂在中国出现的时间相对较短,所以中国新兴的半导体制造设备产业在先进半导体设备与材料方面还没有太大的作为。
但随着几家中国初创公司不动声色地开发半导体设备,这种情况正在开始发生改变。尽管迄今为止的多数努力仍集中于化学气相沉积(CVD)和蚀刻(etch),但已有几家公司和政府实验室在研究比较先进的光刻技术(lithography)。外界对于这些通常不爱抛头露面的初创公司所知甚少,但产业观察家相信,其中一些公司具有潜在的持久发展能力。
投资银行Adams Harkness Inc.研究IC设备市场的分析师Avinash Kant表示,中国处于萌芽状态的半导体设备产业“可能面向应用材料(Applied Materials)、Lam Research和其它大型厂商所没有涉及的市场,但专利保护问题令我担忧。”
中国大陆的半导体制造设备市场是亚洲增长最快的市场之一,2004年销售额达26亿美元,比2003年猛增132%。由于大陆最大的晶圆代工厂商中芯国际缩减支出,预计今年该市场的增长速度会有所放缓。
但是,长期而言,由于税收优惠和补贴,以及本地不断成长的电子供应链,观察家预期中国将成为想建设芯片厂的公司所向往的地方。国际半导体设备暨材料协会(SEMI)6月发表的报告指出,中国将在2005-2008年新建20家芯片厂。
“根据目前已公布的200毫米晶圆厂项目,未来几年中国对于低价设备的需求将出现增长。本地供应商也许能够以低价切入,并与二手设备供应商进行竞争。”SEMI中国总裁Mark Ding表示。“中国正在计划兴建更多的300毫米晶圆厂,如果本地设备供应商在提供200毫米设备方面表现良好并坚持研发,它们将有机会进入利润率更高的领域。”
在上海,一些应用材料的前高管似乎成为先行者。他们构成了中微(上海)有限公司(Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc., AMEC)的核心。AMEC正在开发CVD和蚀刻设备,预计将在今年年底前推出样品,并在2007年推出可以上市销售的系统。
该公司的目标是在2012-2015年以前夺取亚洲30%的市场。人们普遍认为,该公司的策略雄心勃勃。但它的计划具有足够的魅力,已吸引到了3,800万美元的风险资本和华登国际投资集团董事长陈立武(Lip-bu Tan)的关注。陈立武是中芯国际和华润上华(Central Semiconductor Manufacturing Co.)的早期投资者。
陈立武率领一群硅谷公司对AMEC投资,这些公司包括:Redpoint Ventures,InterWest Partners,Lightspeed Semiconductor和Bay Partners。上海市政府的投资机构出资600万美元。
风险投资家Koji Osawa表示,AMEC仍处于秘密状态,因此尚未透露其产品计划。Koji Osawa是风险资本公司Global Catalyst Partners的负责人和共同创始人,该公司在AMCE和其它企业中有投资。Osawa是AMEC的董事会观察员。
Koji Osawa表示,中国半导体公司正在寻找低成本设备,以取代其海外竞争对手的产品,初生的中国半导体设备制造商可能有朝一日会站稳脚跟,成为部分设备的货源。他说:“目前这还不是一个得到充分发达的市场,但我认为中国设备供应商有机会进入这个领域。”
但飞涨的开发成本,加上来自海外对手的强大竞争,可能使中国只有少数几家设备供应商能够活下来。Koji Osawa表示表示:“我认为中国不会有许多设备供应商。”
据SEMI,中国大陆目前约有40家设备制造商,服务于半导体和相关的微电子行业,但目前没有几家能够对海外同业构成的威胁。他们多数从事后端设备生产,或者服务于老式的4、5和6英寸芯片厂,这些工厂占中国芯片产量的一半以上。
“中国的半导体设备行业仍然非常年轻,一时还拿不出什么东西。”一位不愿意透露姓名的中国半导体设备初创公司的高管表示。“但中国想建立半导体产业,而制造设备是该产业的基础。”
一段时间以来,本地厂商一直在游说政府,呼吁政府在先进设备的研发方面投入更多资金,而政府似乎也对于加快本地芯片和LCD设备产业的发展非常感兴趣。政府希望鼓励芯片厂商购买国产设备,但必须谨慎制订相关政策,以免违反世界贸易组织(WTO)的规则,比如过去的退税政策。其中的一个可能性是,把研发资金分配给晶圆代工厂和本地设备制造商,它们可以组成一个类似于Sematech的合作研发组织。
中国设备产业可能帮助巧妙处理出口问题
上述活动,如果能够适时地得到中国芯片厂商的支持,可能形成稳定的本地先进设备供应源,从而避开海外的半导体设备出口许可证问题。而且也可以为该市场引入更多的竞争,从而推低设备价格。目前外国限制对中国大陆出口制造用于基带,以及导弹瞄准系统的芯片的设备。
对于中国是否会成为半导体设备与材料市场中不可忽视的力量,人们看法分歧。应用材料和ASM Lithography这样的领导厂商认为近期不存在威胁,但它们关切五年后的情况。
“我认为中国将生产半导体制造设备,”从事低k介电材料的美国加州初创公司Silecs Inc.销售副总裁Jim Easton表示。“这要求美国比目前更有竞争力。”
ASM NuTool Inc.的资深销售主管Werner Rust预言,中国的半导体制造设备产业“将非常迅速地成长。将需要三到五年的时间。” ASM NuTool Inc.是荷兰ASM International BV的旗下公司。
Werner Rust表示,他不相信中国企业能够在那么短的时间内开发出光刻之类的复杂技术,但他相信,有些厂商可能会打入利基市场。“它们将开始行动,生产自己的扩散炉(furnace)。我相信它们能够制造真空设备。”他说。“我认为它们不会去开发原子层沉积,但可能生产化学机械研磨(CMP)。”
比有形的工厂设施更重要的是,中国正在积累相关技术和经验。Werner Rust表示,曾经在美国半导体设备企业工作过的中国人,目前越来越多地投身于中国初生的半导体设备产业,推动其向前发展。
但有些厂商对于中国半导体设备行业的看法没有这么乐观。“它们在材料方面发展缓慢,处于落后状态。” Dow Corning的半导体生产材料全球销售经理Philip Dembowski表示。“我没看到中国有任何光阻材料公司。也没看到任何化学机械研磨液(CMP slurry)供应商。”
Philip Dembowski认为,中国半导体设备厂商可能在打入本地市场方面取得成功,但可能难以打入其它亚洲国家、欧洲和美国市场。
但这正是AMEC、Shanghai Micro Electronics Equipment和Beijing Seven Star等中国企业的最终目标。它们希望说服当地厂商开始测试它们的设备,也许是趁产业处于低迷时期,因为此时艺工程师有更多的时间。它们相信,它们产品较低的拥有成本——有些国产设备的拥有成本比国外厂商最多低35%,加上所承诺的性能优势,一定会吸引国内外的厂商前来一试。
但这需要时间。韩国从20世纪80年代末就一直努力打造一个强大的半导体设备产业,但在全球市场中的份额达到10-15%之后,就未能取得更大的进展。台湾地区也想建立起自己的半导体设备产业,但结果还不如韩国。
虽然如此,对于杰出者来说,在该市场中仍然存在发展空间。韩国Jusung Engineering Co. Ltd.是一家半导体和LCD制造设备供应商,是该领域中成长最快的公司之一。它取得了亚洲、美国和欧洲客户的信任,预计2005年销售额将从2003年的271亿韩圜增长到2,237亿韩圜。
日本在发展半导体制造设备产业方面是亚洲最为成功的国家,但即使如此,该国的厂商在开始自己的创新活动以前,也是从模仿现有厂商开始起步的。预计中国企业也会从事类似的拷贝活动。
厂商保护自己市场份额的一个较好方式,可能是重视超值服务,如整合与售后服务。大型厂商在与芯片厂更密切合作方面具有明显优势,特别是可能需要更多的整合方面的帮助,或者希望在工艺开发方面进行更密切合作的中国大陆和台湾地区的芯片厂。
“许多时候,从拷贝阶段跳跃至实际提供可以在客户那里正常运行的解决方案,是非常困难的。” VLSI Research Inc.总裁Dan Hutcheson表示。他是半导体设备行业的专家。
以于中国来说,它的半导体设备行业处于幼年时期,客户规模小于日本,而且垂直整合程度不如韩国。这些都是需要克服的障碍。
“对于它们来说,要想发展出一个能够生存的半导体设备产业,可能需要很长的时间,也许需要10年,甚至20年。” Dan Hutcheson表示。“但是要记住,中国人非常有耐心。”
关注半导体设备市场新变化
东精精密设备(上海)有限公司副总经理周雅萍: 中国客户对半导体设备的需求也发生了变化。几年前,客户要求价格便宜工艺简单的设备,通常客户感兴趣的设备为Accretech生产的低端产品。随着中国客户半导体生产工艺水平的提升,中国客户对先进的生产设备需求不断增加。在设备采购过程中,加工质量成为主要的考虑因素。另外,由于中国客户在不断提高生产工艺,Accretech开发的新产品也以其优良的性能价格比,在中国受到欢迎。比如Accretech新开发的硅片背面减薄机,可以将硅片减薄到50μm,用于对硅片厚度有特殊要求的封装工艺,它可以集成硅片减薄的粗磨、精磨、抛光、去保护膜和贴划片膜工艺,目前许多客户对此类先进设备也非常感兴趣,有些客户已经在使用此设备进行生产。 | |||||||||||
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年轻没有失败,看驴生豪迈,不过重头再来
2005年男人感悟100条
中国中小企业老板八大痛苦
企业做到一定规模,老板自然风光,然而随之而来却是企业发展方向的抉择,这种思考的痛苦是企业员工所不能理解的。企业到底要不要发展壮大?如果企业需要进一步发展,是自己来做还是请职业经理人,又面临着处理老板与职业经理人间的种种矛盾;矛盾发生时,职业经理人拍拍屁股就可以走了,但是老板却还得捡起烂摊子,像黄宏生和陆强华事件给老板留下来的将是很大的阴影
现在,大部分中小企业的老板是依托中国改革开放的机遇而成功的,事实上他们本身的素质并不是很高。当然老板成功了肯定有其成功之处,比如有的人勤奋,有的人聪明,但他们不可避免地存在着修养的短板,包括知识修养和境界修养,很多时候,他并不知道自己的做法合不合适或者正不正确,甚至触碰了法律,最后其法律后果还得老板自己承担。
亲情之痛苦
在这样的位置上,老板的付出比一般人多很多。算算老板的工作时间,早上八点钟到办公室,中午开会或者陪人吃饭,下午接待各种各样的人,晚上还要应酬,比普通的三陪还要痛苦,等到回家的时候,小孩睡了,太太也睡了,老板与太太双方的角色就像两种职业,一个是职业老板,一个是职业家庭主妇,由于缺少沟通,两者间也越来越不可能产生共鸣。
除了家人,还有兄弟等。有的人做了老板以后,由于利益的纷争兄弟姐妹反目成仇,老板成了孤家寡人。有的是几个好朋友一起做生意,开始很好,做到一定程度,每个人的想法就不一样了,有的说我还要继续发展,急需钱投资,不能退钱,最后是胡志标式的断臂之痛。
身体之痛苦
宁愿胃里喝个小洞洞,也不能让感情上出现小缝缝。很多老板不仅工作要动脑,而且还要陪各色人等交际应酬,结果,肚子大了,头发没了,身体垮了。老板的成功是牺牲了很多身体代价的。实际上,老板的时间是被秘书安排的,老板往往成了秘书的奴隶,越大的老板越是没有时间安排自己的生活。因此像王均瑶那样的老板绝对是累死的。
孤独之痛苦
老板的交际圈很广,但风光只在表面。与政府,永远是官和商讲不清楚小心翼翼的关系;与家人和亲人,疏于沟通可能出现了裂缝;与原来的朋友,经过多年的创业,要么分离,要么剩下来的就是下属关系。
企业展到一定程度,公司的烦恼老板已经不可能和太太谈公司的事情,也不能和朋友说,因为这是商业机密。老板只能和几个重要的骨干讨论,但是下属和老板之间永远是上下级的关系,隔着距离,老板也不可能把所有的话告诉下属。有了烦恼,不能和家人说,不能和朋友说,更不能和下属说,老板高处不胜寒。
又有老板开玩笑,星期六星期天找职业经理人打球的人很多,但找他们的很少,因为没有人愿意和老板在一起。不能随便外出,不能随便做事情,老板的一举一动都要考虑到企业的形象,享受不到别人所谓常态的快乐。
财富之痛苦
很多老板,有了钱比没钱更痛苦。特别是中小企业的老板,考虑到财富的安全,穿的和吃的并不比以前更放得开。
有的老板,逢年过节头皮都发麻了,因为变相的敲诈随时在发生。
有时候老板看起来大,实际上比谁都小,黑白两道都要去应酬,大小部门也要去“烧香”,谁让你身价过亿?甚至有小混混赌钱赌输了,看当地哪个老板大,就直接跟他说,我在哪里输了多少钱,你给我拿多少钱过去。这种情况在珠三角非常普遍。
安全之痛苦
哪个老板在经营当中一点不得罪人?因此,老板总是在担心着自己的生命安全,甚至于在家里都安排保镖。有的老板连洗头吃饭等所有活动都有自己固定的地方,他无法享受常人多姿多彩的生活。
很多老板特别是中小企业老板对子女的教育方式已经变成了一种畸形。他们不敢让自己的小孩和别的小孩一起玩,把子女送到贵族学校,不是考虑学校良好的教育环境,而是考虑到安全系数高,子女送进去,大门一关出不来就安全了。星期六星球天很多老板还把小孩带到身边去上班,不是有意培养他们,而是把小孩放到什么地方都不放心。他们的出身注定了他们的命很娇贵。
变态之痛苦
珠三角老板圈子里流行着一句话:老板不是人干的。中国的老板们特别是中小企业的老板越来越过不上正常的生活,包括不正常的人际关系和不正常的心态。
比如,有的老板会包养二奶。从某种意义来说,这可能是他们对自己压抑生活的一种发泄渠道,但事实上这又是一种不正常的生活。这种东西往往是用金钱交易得来的,不是真正的感情。这样的做法其代价对于老板来说可能非常大,轻的因此被敲诈勒索,重的是老板把这个人引进公司,成为二当家,那么将有可能给整个企业的经营管理造成很多裂缝。比如,有的老板会赌博甚至吸毒了,有的老板非常迷信。由于先天的知识结构不足,常常有老板莫名其妙的赚了钱,又莫名其妙地让自己的企业垮了台。正因为缺乏思考问题的眼界,老板就像古代人一样,搞不懂自然现象的时候只有求助于迷信崇拜。
责任之痛苦
谁都可以死,偏偏老板不能死。不管什么老板,大大小小,总是有几百人几千人几万人等着找他要饭吃,如果他的离开导致企业的破产,那么很多人都面临着重新选择岗位,甚至对整个产业都可能产生影响。无形中老板对社会做出了巨大的贡献,但是正是这些使命使得老板不得不面临其他的痛苦:社会的仇富心态和自己的身心疲惫。由于中国社会长期以来形成的财富文化使得这些“资本家”们在社会上承受着相当的舆论压力;另外,每个人总有疲惫的时候,社会的责任、市场的竞争、各种人际关系都迫使老板们无法自由地退出自己的职业舞台。当年巨人的失败,所有的人都在骂史玉柱,他所承担的负债压力和社会压力不是常人可以想像的——曾经一晚上就抽了五包烟。
学习之痛苦
无论企业作为学习性组织,还是老板本身需要改变学习,很多老板是又工作又学习。但是一个成功的人往往会用过去的经验来衡量今天的经历,以前这么做可以成功,那么现在是不是也可以这么做?然而一个渴望超越自己的人其实不得不面临改革自己的痛苦。